Сканиращ електронен микроскоп (SEM) с променливо налягане и система EDS (JEOL)

№ JSM-IT100LA

Технически характеристики:

Автоматична промяна от високо (HV) към ниско (LV) налягане.
Резолюция (HV): 4.0 nm (20 kV); 8 nm (3 kV); 15 nm (1 kV);
Резолюция (LV): 5.0 nm (20 kV);
Увеличение: x5 до x300,000;
Ускоряващо напрежение: 0.5 kV до 20 kV;
LV детектор: BSED;
Налягане: 10 до 100 Pa;
Място за проби: fully eucentric;
X / Y: 80 / 40 mm;
Z (WD): 5 - 48 mm;
T / R: -10° до +90° / 360°
Размери на пробата: пълно наблюдение (диаметър): 125 mm; максимален товар (диаметър): 150 mm;
PC, OS: DELL, Windows 7 Professional;
GUI дисплей: LCD 23'' сензорен екран;
Дигитално изображение: до 5120x3840 pixels;
EDS / SDD: интергриран;
Включват се:
- Увеличителен обектив;
- Второстепенен електронен детектор;
- Електронен детектор с висока резолюция (topo, compo, shadow images);
- Операционен панел (OKB);
- Компютър с 23'' инчов сензорен монитор;
- Турбомолекулярна помпа (TPM);
- Софтуери за анализи, измервания, доклади;
- 6 предварително центрирани волфрамови нишки;
Производител: JEOL